1、前言

        在半導體行業設備行業和結合在一起電路設計工藝設計中，素材、晶圓、處理器的測評是必切不可少的步驟。因為半導體行業設備行業測評程序的不斷發展，數字式9源表SMU結合在一起探頭臺的程序樂隊組合早就被很廣適用于素材/很小配件的電學特質印證中。數字式9源表SMU有源測功能性，能否誕生工作電流-電阻值(I-V)特質弧度，是半導體行業設備行業素材、配件電特性定性分析衡量的核心區；探頭臺有人工機械、半一鍵和全一鍵六種，按照測評應該會選擇配套工程的商品可以了。在備選時應該主要探頭的在木頭材質以其針尖的直徑怎么算與線條，探頭在木頭材質的不同，其特性阻抗也不會完全相同；再者，探頭尖受損和污染源也會對測評導致有應響。

        在測試時，通過數字源表提供激勵并對測量信號進行采集。首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。

圖：SMU、檢測器、DUT接觸示意圖

        下文中，我們將探討數字源表SMU和探針臺的連接注意事項，以及不同材料/器件的測試應用案例。

2、數字源表SMU與探針臺的連接

        電極臺與源表(biao)的相連(lian)(lian)較為(wei)常見有(you)幾種，這種動用同中(zhong)線相連(lian)(lian)，另(ling)這種動用三(san)同中(zhong)線相連(lian)(lian)。當衡量小(xiao)(xiao)交流(liu)電(nA、pA)時(shi)，應動用三(san)同軸連(lian)(lian)接模組和三(san)同中(zhong)線纜。在連(lian)(lian)結源表(biao)保養低(di)端考試(shi)電路系統中(zhong)，由三(san)同軸的保養層與內芯之中(zhong)是(shi)等電勢差，不老(lao)有(you)漏交流(liu)電產生，并能提(ti)升小(xiao)(xiao)交流(liu)電考試(shi)高精度。

圖：三同軸線纜半剖圖

（1導體；2接地；3內屏弊掉層；4在期間層；5外屏弊掉層；6外保護套）

圖：三同基準面纜等效電線圖

  上圖下圖為三同軸網纜等效三極管圖，輸出的品質HI和Guard相互間的電勢差可以說為0，然而消掉電纜個人的漏電流。

以下是使用普賽斯直流源表、脈沖源表、高壓源表、大電流源表與探針臺的接線說明：

S系統電流源表

- 兩同軸連接 -

使用香蕉頭轉BNC母頭的轉接頭進行連接；

- 三同軸連接 -

        三同軸聯系方式英文器與平民兩芯聯系方式英文器有些各種不同，可一起接駁表現、跨接和屏幕掉層，屏幕掉效率好。和多芯纜線比起來，三同軸纜線形式簡單，安全可靠性好；和兩芯同軸纜線比起來，有著高的屏幕掉的性能和小表現的高速傳輸程度。三同軸纜線的聯系方式英文方式英文動用了GUARD表現，為了了屏幕掉做用，更有效于小表現的校正。

P系列脈沖源表

- 兩同軸連接 -

利用杜邦線轉BNC母頭完成鏈接；

- 三同軸連接 -

在使用三同軸電話轉接包塊做出接入。

E系列高壓源表

- E100(1200V) -

立即在使用三同基準面做連結；

- E200(2200V)/E300(3500V) -

將一般的三同軸調整為高壓力專業三同基準面；高壓變壓器低壓三同軸管金屬接頭的抗壓業務能力較為強烈，普賽斯動用的高壓變壓器低壓三同軸管金屬接頭可以抗壓3500V。

圖：左-低(di)壓三同(tong)軸、右-普(pu)普(pu)通通三同(tong)軸

HCPL 100大電流源表

大功率側量時，單根測試測試探頭限制值的功率限制，功率過大已經會誘發燒針的情況，影晌測試測試可是，往往必須用到多測試測試探頭并接。

圖：多電極串并聯展示

3、探針臺與器件的連接

 在不同的材料測試中可能會遇到共面電極或異面電極的材料。共面電極指陽極和陰極在同一平面；異面電極指陽極和陰極不在同一平面，常見為正反面。

圖：共面參比電極相連接展示

圖：異面(mian)金屬(shu)電極聯系示意圖

4、測試注意事項

-探針臺接地：探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺結構(gou)上有(you)很(hen)多金(jin)屬，在(zai)帶(dai)(dai)電(dian)(dian)的(de)環境下(xia)會存在(zai)很(hen)強的(de)靜電(dian)(dian)，一(yi)般探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺會自(zi)帶(dai)(dai)大(da)地(di)(di)(di)(di)(di)連接(jie)(jie)(jie)線，使(shi)用中將(jiang)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺接(jie)(jie)(jie)大(da)地(di)(di)(di)(di)(di)，避(bi)免釋放靜電(dian)(dian)給測(ce)試(shi)帶(dai)(dai)來影響(xiang)。一(yi)般地(di)(di)(di)(di)(di)線分為兩(liang)類：一(yi)種是工作(zuo)接(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)(di)(di)，另一(yi)種是安(an)全(quan)(quan)性接(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)(di)(di)。工作(zuo)接(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)(di)(di)是把金(jin)屬導體(ti)銅塊(kuai)埋在(zai)土(tu)壤(rang)里(li)， 再通過導線引出地(di)(di)(di)(di)(di)面，將(jiang)導線接(jie)(jie)(jie)入(ru)(ru)設備(bei)的(de)接(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)(di)(di)端口，形成接(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)(di)(di)回路。 安(an)全(quan)(quan)性接(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)(di)(di)是指(zhi)使(shi)用探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺金(jin)屬外殼(ke)自(zi)帶(dai)(dai)的(de)接(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)(di)(di)線進行接(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)(di)(di)，當(dang)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺金(jin)屬外殼(ke)發生絕緣(yuan)損壞(huai)，外殼(ke)帶(dai)(dai)電(dian)(dian)時，電(dian)(dian)流沿著其外殼(ke)自(zi)帶(dai)(dai)的(de)接(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)(di)(di)線接(jie)(jie)(jie)入(ru)(ru)大(da)地(di)(di)(di)(di)(di)，以達(da)到安(an)全(quan)(quan)的(de)目的(de)。

-連接線接地：探針臺的(de)連接(jie)線(xian)為(wei)同(tong)軸(zhou)線(xian)，兩根同(tong)軸(zhou)線(xian)的(de)內芯是信號線(xian)，從而導致兩根同(tong)軸(zhou)線(xian)的(de)外(wai)屏蔽(bi)(bi)層懸空，未起到屏蔽(bi)(bi)的(de)作用，在磁場環境復雜的(de)情況下(xia)會對測試產(chan)生(sheng)較大的(de)干擾(rao)。因此，為(wei)了(le)獲得較好的(de)測試效果，需要將同(tong)軸(zhou)線(xian)纜的(de)外(wai)屏蔽(bi)(bi)層接(jie)入工作地(di)線(xian)。

-關閉光源：很多(duo)器(qi)件和材(cai)料對光(guang)源敏感，測(ce)試中(zhong)如(ru)果不(bu)關閉光(guang)源會影(ying)(ying)響測(ce)試結果，所以(yi)測(ce)試時盡量在(zai)無(wu)光(guang)源影(ying)(ying)響的(de)環境中(zhong)進行。

-小電流測試時加屏蔽罩：如果測試(shi)電流為pA級別(bie)，需要給探針臺(tai)增加屏蔽罩。

-異面電極材料連接：異(yi)面電極(ji)(ji)材(cai)料連接時(shi)通常會(hui)使用探針臺Chuck盤(pan)做電極(ji)(ji)，但是Chuck盤(pan)的平整度會(hui)對材(cai)料的接觸面有影響，那(nei)么(me)此(ci)時(shi)就需(xu)要使用引(yin)電極(ji)(ji)。